接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。
通常価格 ¥207,555(税別)
JAN:4571133301242
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特長
■接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。
■化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。
用途
■濃縮機などの化学機器。
■半導体製造装置。
■製薬機械。
■薬品処理後の乾燥。
■真空乾燥機、連結乾燥機
仕様
■排気速度(L/min)50/60Hz:50/60
■到達圧力(Pa):0.67
■吸気口径:KF-25
■電源(V):単相100
■騒音値(dB):-
■サーマルプロテクタ付:○
■使用油:SO−M
■全幅×全長×全高(mm):165.5×419×222.7
■寸法(mm):165.5×419×222.7
■2段排気方式
■ケミカルタイプ
材質/仕上げ
注意
■真空ポンプ油は合成油(SO-M)をご使用ください。
■特殊ガス、溶液などを吸引されるときは事前にご相談ください。
■大気圧近くでの連続運転には不適当です。
■腐食性ガスを吸引される場合のオプショナルパーツの選定は材質と耐食性をご確認ください。